当前位置: 首页 » 产品展示 » 晶圆制程设备 » 单晶圆清洗机

单晶圆清洗机

  • 全自动晶圆清洗机,8”/12”共用机台,切换只需更换FOUP Adapter。
    具备多功特性,针对不同应用,集成不同功能。
    具备高速离心旋转、HPC、二流体、毛刷、SC1化学清洗及能加装兆声波等功能。
    适用于Particle清洗、Flux清洗及光阻残留清洗等制程。
    流场模拟腔体设计,独特的密封设计,为制程提供最洁净的清洗环境。
    友善的软件界面,提供量产和工程安全便利的芯片制程。

产品描述


Copyright © 1996-2011 深圳市凯尔迪光电科技有限公司 版权所有

地址:深圳市光明区观光路乐府广场1B座1811

E-mail:salesasst@kedtech.com.cn

网站备案/许可证号:粤ICP备18072018号 技术支持:出格