用途
该设备可以进行晶圆颗粒的去除和焊剂残留物的清洗
每小时产量
单个腔室WPH约等于15(取决于120秒的处理时间)
装载/卸载
FOUP/ SMIF / Cassette
工作台
可依产能需求配置1~8个腔体;依照制程腔体内最多可配置4个臂摆。
颗粒物移除能力
颗粒水平:0.06um<=10ea;颗粒物移除率>96%
臂摆工艺特点:
◆臂摆移动位置可进行精准控制
◆二流体喷洒压力:2~Skg/cm2
◆高压针状喷头喷洒压力:60~200kg/cm2
◆DIW流喷嘴:1~3kg/cm2
◆氮气喷嘴5~7kg/cm2
◆(option)兆声波(点型喷嘴)
◆(option)搭配柔性喷洒药液方式进行助熔剂的清洗
◆(option)刷洗功能:PVA毛刷搭配水将脏污进行移除
制程优势
◆高压清洗、二流体清洗、化学清洗、PVA毛刷清洗、兆声波清洗
◆使用先进的清洁化学品进行清洁,RCA清洗制程皆可进行
◆提供高温针状喷头进行清洁