EN
中文
PCBA清洗机
PCBA清洗机
PCBA清洗机
产品特点
01
气动高压Pump配合高压喷头,依制程需要配置压力输出60~200Kg/cm2。
02
二流体压力5kg/cm2以内。
03
配备不锈钢清洗液加热供应槽,最高控制温度达95°C.
04
高速、平稳、抗静电之Spin Chuck,最高转速> 30o0 rpm。
05
藉由化学品的选用,适合的喷头及程序控制,增强底部间隙的清洗能力。
06
Semi-close腔体设计,使Exhaust表现最佳抽气状态。
应用范围
技术参数
用途
该设备可以进行晶圆颗粒的去除和焊剂残留物的清洗
适用/应用
4"~12”晶圆清洗
每小时产量
单个腔室WPH约等于15(取决于120秒的处理时间)
腔室类型
单晶片旋转工艺室
装载/卸载
FOUP/ SMIF / Cassette
外部材质:
不锈钢
框架材质
不锈钢
工作台
可依产能需求配置1~8个腔体;依照制程腔体内最多可配置4个臂摆。
化学品选用
SC1 / SC2 / SPM
腔体设计
半封闭式
颗粒物移除能力
颗粒水平:0.06um<=10ea;颗粒物移除率>96%
工艺温度
可依照制程进行配置
臂摆工艺特点:
◆臂摆移动位置可进行精准控制
◆二流体喷洒压力:2~Skg/cm2
◆高压针状喷头喷洒压力:60~200kg/cm2
◆DIW流喷嘴:1~3kg/cm2
◆氮气喷嘴5~7kg/cm2
◆(option)兆声波(点型喷嘴)
◆(option)搭配柔性喷洒药液方式进行助熔剂的清洗
◆(option)刷洗功能:PVA毛刷搭配水将脏污进行移除
排放方式
重力排
制程优势
◆高压清洗、二流体清洗、化学清洗、PVA毛刷清洗、兆声波清洗
◆使用先进的清洁化学品进行清洁,RCA清洗制程皆可进行
◆提供高温针状喷头进行清洁
严正声明
      为避免对本公司、客户、员工及任何第三方造成任何不良影响,本公司就此情况声明如下:


      凯尔迪官方网站为https://www.kedtech.com.cn,凯尔迪对假冒本公司名义进行欺诈以及其他一切侵犯公司合法权益的非法行为,将通过法律途径维护自身合法权益。凯尔迪郑重告诫假冒本公司名义实施欺诈及其他违法活动的组织和个人,立即停止一切非法行为。


      特此声明!


深圳市凯尔迪光电科技有限公司

2024年8月07日