超声浸液清洗机

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超声浸液清洗机

全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12” FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。
设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求Class10/100。多种喷淋清洗工艺，可实现360°清洗，保证制程的高精度清洗需求。
配备真空干燥系统可提升效率，满足低湿度要求，湿度实时监控。（Option）

支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议，
SECS/GEM200/300 .
支持OHT/PGV/AGV设备对接.
符合SEMI S2、CE半导体制造标准及认证.

超声浸液清洗机

超声浸液清洗机

产品特点

01

密封式独立清洗腔体，清洗效果更好，洁净度更高

02

集成一体式N2填充及FOUP内部温湿度检测系统，避免FOUP二次污染

03

FOUP真空抽湿功能，干燥后满足最苛刻之湿度要求

04

自动Load Port和主流E84传感器，对接OHT天车稳定、高效

05

Slot Mapping检测系统，能够实时检测未取出晶圆片和晶圆碎片(Option)

06

各腔体可单独控制运行，互不干涉

07

采用工控机+PLC方式控制，操作简单、便捷且满足SECS/GEM通信要求

应用范围

技术参数

设备尺寸

4250mm(L)x4170mm(W)×2800mm(H)(含脚杯+排气口高度)仅供参考

应用范围

12" Wafer FOUP/FOSB;Panel FOUP;Mask FOUP

夹具类型

按客户产品定制(Max12寸FOUP)

产品数量

3pcs/批次（12寸 FOUP)

主轴转速

Max60rpm(自定义)

主轴旋转方式

正转/反转

电源供应

三相五线AC380V 50Hz主机253A;外置加热箱115A

噪音

<75db

总功率

MAX约218KW

设备净重

约4000Kg

主要材质

机身: SUS304
管路:PFA

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深圳市凯尔迪光电科技有限公司

2024年8月07日