半⾃动FOUP清洗机

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半⾃动FOUP清洗机

FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒SMIF、FOUP、FOSB 、Cassette等，可实现无与伦比的清洗和干燥效果。
将FOUP、FOSB安装并固定在清洗室内的中心转轴上，进行360° 正反转动，由DI Water进行高压冲洗。高压冲洗产生的机械力，降低FOUP、FOSB接触面的表面张力，将Particle及金属离子清洗去除，离心＋热风进行烘干，高效率、高质量完成FOUP的清洗。
支持SECS/GEM200/300 .
符合SEMI S2、CE半导体制造标准及认证.

半⾃动FOUP清洗机

产品特点

01

多达十段清洗工艺流程设定，制程窗口更宽

02

含有自动执行状态显示，快速检视设备运行状态及工作时间

03

扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低人为失误导致设备损坏

04

主轴由伺服系统控制，稳定加减速及转速，数值可控

05

操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷,人性化设计

06

旋转式离心清洗,正反旋转速度可调，更易清除产品表面残留污染物

07

IR烘烤加速干燥时间，无任何水份残留

08

采用一流体(二流体选项)的清洗模式，能有效去除微小的污染物

应用范围

技术参数

设备尺寸

1780mm(L)x 1870mm(W) x 2550mm(H)(含脚杯+排气口高度）仅供参考

旋转夹具

按客户产品定制(Max12寸FOUP/FOSB 8寸/ Cassette)

产品数量

8pcs/批次（12寸 FOUP)/16pcs/批次（8寸Cassette)

主轴转速

Max200rpm(自定义)

主轴旋转方式

正转/反转

电源供应

三相五线AC380V 50Hz 85A(不含外置液箱)

噪音

<80db

总功率

MAX约33KW(不含外置液箱)

设备净重

约1000Kg

主要材质

机身：SUS304
管路：PFA

CDA/N2

压力:0.45-0.7Mpa φ12 PU管

DIW

流量:5-60L/min，压力:大于0.3Mpa

排气口

数量：2×Φ152mm
流量≈15m³/min
由客户提供抽风系统

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深圳市凯尔迪光电科技有限公司

2024年8月07日