FS系列废水处理机

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FS系列废水处理机

产品特点

密封式独立清洗腔体，清洗效果更好，洁净度更高。

集成一体式N2填充及FOUP内部温湿度检测系统，避免FOUP二次污染。

FOUP真空抽湿功能，干燥后满足最苛刻之湿度要求。

自动Load Port和主流E84传感器，对接OHT天车，稳定、高效。

Slot Mapping检测系统，能够实时检测未取出晶圆片和晶圆碎片（Option）。

各腔体可单独控制运行，互不干涉。

应用范围

技术参数

设备尺寸

4250mm(L)×4170mm(W)×2800mm(H)
（含脚杯+排气口高度）仅供参考

应用范围

12”Wafer FOUP/FOSB；Panel FOUP；Mask FOUP

夹具类型

按客户产品定制（Max12寸 FOUP）

负载

500KG / 1000KG

行走速度

0~45m/min

产品数量

3pcs/批次（12寸 FOUP）

主轴转速

Max60rpm（自定义）

主轴旋转方式

正转/反转

电源供应

三相五线AC380V 50Hz 主机253A；外置加热箱115A

噪音

＜75db

总功率

MAX约218KW

设备净重

约4000Kg

主要材质

机身：SUS304 管路：PFA

严正声明

为避免对本公司、客户、员工及任何第三方造成任何不良影响，本公司就此情况声明如下：

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深圳市凯尔迪光电科技有限公司

2024年8月07日