设备尺寸
6800mm(L)x1860mm(W)x1956mm(H)
UPH
标准计算方法:链速/(板子长度+放板间距)*60min*并排放板数量
电源
三相五线3 Phases 5 Lines, AC 380V , 50HZ , 313A
DIW/PCW
DIW:(流量:5-15L/min ,压力 :≥0.3MPa)
PCW:(流量:100-140L/min,压力:≥0.3MPa,温度≤18℃)
CDA
流量 :3-5m³/h,压力 :0.45-0.7MPa
排气口规格
数量:5 EA,尺寸:10 inch 250mm,风速:≥7m/s,总流量:53 m³/min