设备尺寸
5800mm(L) x1854mm(W) x1800mm(H)
UPH
标准计算方法:链速/(板子长度+放板间距)*60min*并排放板数量
电源供应
三相五线 : AC 380V , 50Hz , 280A
DIW/PCW
DIW:流量:5-15L/min ,压力:>0.3MPa;
PCW:100-140L/min ,压力:>0.3MPa,温度:≤18℃
CDA
流量:3-5m³/h,压力:0.45-0.7MPa
排气口
数量:5 EA,直径:10 inch 250mm,风速:≥7m/s ,总流量:53m³/min