深圳市凯尔迪光电科技有限公司

超临界流体技术(SCF)

2024.09.19

超临界流体：

超临界流体（英语：Supercritical fluid, SCF）是一种物质状态，当物质在超过临界温度及临界压强以上，气体与液体的性质会趋近于类似，最后会达成一个均匀相之流体现象。

1、主要应用于以CoWoS为主的2.5D、3D先进封装的清洗，Gap＜10μm

Die size＞100*100mm，Chip pitch＞500μm

2、精密清洗，可支持＜14nm制程，主要应用DRAM，HBM，MEMS等

1. 类似气体的扩散性

2. 液体的溶解性

3. 粘度低

4. 表面张力低

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深圳市凯尔迪光电科技有限公司

2024年8月07日