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FP-100L
FP-100L应用于先进封装厂，专门用于清洗FOUP的设备。它的核心任务，是去除FOUP在先进封装产线循环使用中沾染的颗粒，从而确保内部的产品不受污染。
FP-100L
产品特点
01
应用场景明确：主打先进封装厂使用。
02
功能定向：专为清洗 FOUP 打造。
03
清洁作用突出：可去除污染物颗粒，保护产品不受污染。
应用范围
技术参数
设备尺寸
L3320 x W3450 x H2840mm
设备材质
包覆：A3板白色烤漆；管路：PFA
适用范围
12-inch Wafer FOUP/FOSB；8-inch/12-inch Common FOUP
设备稳定性
Up time≥97%；MTBF≥2000H；MTBA≥168H；MTTR≤3H
设备产能
FPH：16~22个/小时