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光学模组清洗机
适用于 12FOUP/FOSB 颗粒与金属离子清洗，多级精密过滤，满足 Class10/100 洁净等级。
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FS系列废水处理机
适用于行业主流的12FOUP/FOSB Particles及金属离子清洗。 设备配备多级精密过滤系统，有效保证洁净等级，满足制程需求Class10/100。
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