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PF-80C
FP-80C 专门用于清洗晶圆传送盒的设备。它的核心任务，是去除晶圆盒在半导体产线循环使用中沾染的颗粒从而确保内部的晶圆不受污染。
PF-80C
产品特点
01
用途专属：专为清洗晶圆传送盒设计。
02
作用明确：可清除产线产生的颗粒污染物。
03
防护性强：有效避免晶圆被污染。
应用范围
技术参数
设备尺寸
L1780 x W1630 x H2500mm
设备材质
包覆：SUS304镜面；管路：PFA
适用范围
蛋糕盒；SMIF POD；Open Cassette；12-inch FOUP/FOSB
设备稳定性
Up time≥95%；MTBF≥500H；MTBA≥168H；MTTR≤2H
设备产能
FPH：12个/小时（12-inch FOUP）